F-Theta レンズ (スキャン対物レンズまたはフラット フィールド対物レンズとも呼ばれる) は、スキャン アプリケーションでよく使用されるレンズ システムです。スキャンヘッドの後のビーム経路に配置され、さまざまな機能を実行します。
F-θ対物レンズは通常、ガルバノベースのレーザースキャナーと一緒に使用されます。これには 2 つの主な機能があります。下の図に示すように、レーザー スポットの焦点を合わせ、画像フィールドを平坦化します。出力ビーム変位は f*θ に等しいため、f-θ 対物レンズという名前が付けられました。走査レンズに指定量の樽型歪みを導入することにより、F-Theta 走査レンズは、レーザー走査、マーキング、彫刻、切断システムなど、画像面上に平坦なフィールドを必要とするアプリケーションにとって理想的な選択肢となります。アプリケーションの要件に応じて、これらの回折限界レンズ システムは、波長、スポット サイズ、焦点距離を考慮して最適化でき、レンズの視野全体で歪みが 0.25% 未満に抑えられます。